As gjysmëpërçuesNdërsa teknologjitë mikroelektronike zhvillohen drejt performancës dhe integrimit më të lartë, vendosen kërkesa më të larta për pastërtinë e gazrave specialë elektronikë. Teknologjia e tubacioneve të gazit me pastërti të lartë është një pjesë e rëndësishme e sistemit të furnizimit me gaz me pastërti të lartë. Është teknologjia kyçe për furnizimin e gazrave me pastërti të lartë që plotësojnë kërkesat për pikat e përdorimit të gazit, duke ruajtur njëkohësisht cilësi të kualifikuar.
Teknologjia e tubacioneve me pastërti të lartë përfshin projektimin e saktë të sistemit, përzgjedhjen e pajisjeve të tubave dhe materialeve ndihmëse, ndërtimin, instalimin dhe testimin.
01 Koncepti i përgjithshëm i tubacioneve të transmetimit të gazit
Të gjitha gazrat me pastërti dhe pastërti të lartë duhet të transportohen në pikën terminale të gazit nëpërmjet tubacioneve. Për të përmbushur kërkesat e cilësisë së procesit për gazin, kur indeksi i eksportit të gazit është i sigurt, është më e nevojshme t'i kushtohet vëmendje përzgjedhjes së materialit dhe cilësisë së ndërtimit të sistemit të tubacioneve. Përveç saktësisë së pajisjeve të prodhimit ose pastrimit të gazit, kjo ndikohet kryesisht nga shumë faktorë të sistemit të tubacioneve. Prandaj, përzgjedhja e tubave duhet të përputhet me parimet përkatëse të industrisë së pastrimit dhe të shënohet materiali i tubave në vizatime.
02 Rëndësia e tubacioneve me pastërti të lartë në transportin e gazit
Rëndësia e tubacioneve me pastërti të lartë në transportin e gazit me pastërti të lartë Gjatë procesit të shkrirjes së çelikut inox, çdo ton mund të thithë rreth 200 g gaz. Pasi çeliku inox përpunohet, jo vetëm që ndotës të ndryshëm ngjiten në sipërfaqen e tij, por edhe një sasi e caktuar gazi thithet në rrjetën e tij metalike. Kur ka rrjedhë ajri që kalon nëpër tubacion, pjesa e gazit të thithur nga metali do të rihyjë në rrjedhën e ajrit dhe do të ndotë gazin e pastër.
Kur rrjedha e ajrit në tub është e ndërprerë, tubi formon adsorbim presioni mbi gazin që kalon nëpër të. Kur rrjedha e ajrit ndalon së kaluari, gazi i adsorbuar nga tubi formon analizë të reduktimit të presionit, dhe gazi i analizuar gjithashtu hyn në gazin e pastër në tub si një papastërti.
Në të njëjtën kohë, cikli i adsorbimit dhe analizës do të bëjë që metali në sipërfaqen e brendshme të tubit të prodhojë një sasi të caktuar pluhuri. Kjo grimcë pluhuri metalik ndot gjithashtu gazin e pastër në tub. Kjo karakteristikë e tubit është shumë e rëndësishme. Për të siguruar pastërtinë e gazit të transportuar, jo vetëm që kërkohet që sipërfaqja e brendshme e tubit të ketë një lëmueshmëri jashtëzakonisht të lartë, por edhe që të ketë rezistencë të lartë ndaj konsumimit.
Kur gazi ka veti të forta korrozive, për tubacionet duhet të përdoren tuba çeliku inox rezistentë ndaj korrozionit. Përndryshe, në sipërfaqen e brendshme të tubit do të shfaqen njolla korrozioni për shkak të korrozionit. Në raste të rënda, copa të mëdha metali do të shkëputen ose madje do të shpohen, duke ndotur kështu gazin e pastër që transportohet.
03 Materiali i tubit
Përzgjedhja e materialit të tubit duhet të bëhet sipas nevojave të përdorimit. Cilësia e tubit në përgjithësi matet sipas vrazhdësisë së sipërfaqes së brendshme të tubit. Sa më e ulët vrazhdësia, aq më pak ka gjasa që të mbajë grimca. Në përgjithësi ndahet në tre lloje:
Njëra ështëTub i gradës EP 316L, i cili është lëmuar elektrolitikisht (Electro-Polish). Është rezistent ndaj korrozionit dhe ka vrazhdësi të ulët sipërfaqësore. Rmax (lartësia maksimale nga maja në luginë) është rreth 0.3μm ose më pak. Ka rrafshësinë më të lartë dhe nuk formon lehtë rryma mikro-vorbull. Hiqni grimcat e kontaminuara. Gazi i reagimit i përdorur në proces duhet të transportohet me tuba në këtë nivel.
Njëra është njëBA 316Ltub, i cili është trajtuar me Bright Anneal dhe përdoret shpesh për gazrat që janë në kontakt me çipin, por nuk marrin pjesë në reaksionin e procesit, siç janë GN2 dhe CDA. Njëri është tubi AP (Pjekje dhe Picking), i cili nuk trajtohet posaçërisht dhe përdoret përgjithësisht për grupe të dyfishta tubash të jashtëm që nuk përdoren si linja furnizimi me gaz.
04 Ndërtimi i tubacionit
Përpunimi i grykës së tubit është një nga pikat kryesore të kësaj teknologjie ndërtimi. Prerja dhe parafabrikimi i tubacionit kryhen në një mjedis të pastër dhe në të njëjtën kohë, sigurohet që të mos ketë shenja ose dëmtime të dëmshme në sipërfaqen e tubacionit para prerjes. Përgatitjet për shpëlarjen me azot në tubacion duhet të bëhen para hapjes së tubacionit. Në parim, saldimi përdoret për të lidhur tubacionet e transmetimit dhe shpërndarjes së gazit me pastërti të lartë dhe pastërti të lartë me rrjedhje të madhe, por saldimi i drejtpërdrejtë nuk lejohet. Duhet të përdoren nyje mbrojtëse dhe materiali i tubit i përdorur duhet të mos ketë ndryshim në strukturë gjatë saldimit. Nëse bashkohet materiali me përmbajtje shumë të lartë karboni, përshkueshmëria e ajrit e pjesës së saldimit do të bëjë që gazi brenda dhe jashtë tubit të depërtojë në njëri-tjetrin, duke shkatërruar pastërtinë, thatësinë dhe pastërtinë e gazit përcjellës, gjë që do të çojë në pasoja të rënda dhe do të ndikojë në cilësinë e prodhimit.
Si përmbledhje, për tubacionet e gazit me pastërti të lartë dhe tubacionet speciale të transmetimit të gazit, duhet të përdoret një tub çeliku inox me pastërti të lartë i trajtuar posaçërisht, gjë që e bën sistemin e tubacioneve me pastërti të lartë (duke përfshirë tubacionet, pajisjet e tubave, valvulat, VMB, VMP) të zërë një mision jetësor në shpërndarjen e gazit me pastërti të lartë.
Koha e postimit: 26 nëntor 2024